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Vortrag

FIB/REM Serienschnitte mit EDX und EBSD am Beispiel von Al-Gusslegierungen, Gusseisen und Elektrowerkstoffen

Mittwoch (21.09.2016)
16:35 - 16:55 Uhr Hörsaal B
Bestandteil von:


Die Focused Ion Beam Technik (FIB), kombiniert mit der Rasterelektronenmikroskopie (REM) hat sich mittlerweile in vielen Bereichen der Werkstoffcharakterisierung etabliert. Zu den häufigsten Anwendungsfeldern gehören die zielgenaue Herstellung von Querschnitten, die Zielpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie und die Atomsondentomographie, sowie die 3D Charakterisierung von Werkstoffgefügen mittels FIB/REM Serienschnitten. Bei der FIB/REM Serienschnitttechnik wird der interessierende Probenbereich schrittweise mittels FIB abgetragen und die freigelegten Querschnittsflächen mit dem REM abgebildet. Standardmäßig wird dabei die Sekundär- oder Rückstreuelektronenabbildung (SE bzw. RE) genutzt. Eine Integration einer chemischen Analyse mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) oder einer Analyse von Phase und Orientierung der Kristallite mittels Rückstreuelektronenbeugung (EBSD) ist möglich, wenn auch aufgrund von experimentellen Besonderheiten nicht üblich. Da jedoch der Vorteil dieser Tomographiemethode gerade in der Vielseitigkeit der möglichen Kontraste liegt, soll in der vorliegenden Arbeit ein Überblick über die experimentellen Randbedingungen der FIB/REM Serienschnitte gegeben werden und am Beispiel verschiedener Werkstoffe auf die experimentellen Besonderheiten der FIB/REM Serienschnitte mit EDX und EBSD eingegangen werden.

 

Sprecher/Referent:
Dipl.-Ing. Michael Engstler
Universität des Saarlandes
Weitere Autoren/Referenten:
  • Christoph Pauly
    Universität des Saarlandes
  • Prof. Dr. Frank Mücklich
    Universität des Saarlandes

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